计划从2017年4月开始 依次新增功能

运转过程中的半导体设备因故障而停止运转时,会对客户的生产计划造成影响。本公司在以往的客户支持与服务中运用IoT(物联网)与M2M即人机对话技术,提供全新的TSS(Total Solution Service)with TEN-System服务。

在此介绍一下TSS with TEN-System中最为核心的TEN-System。TEN-System功能,该功能大致分为以下3种。

• 在线支援

• 零部件供应服务

• 预知性维护(2018年开始提供服务)

通过设备电子档案与穿戴式装置实时把握生产现场的情况，更高效地提供支持

在线支持引进了设备诊断记录与穿戴式装置，本公司亦可实时掌握半导体设备的状态与生产现场的情况，与生产现场的设备负责人取得共识后，更高效地提供支持。

设备诊断记录中可显示在册的半导体设备当前的状态与曾发生的错误记录。而且还可以查看指定期间内的运转情况及故障的发生状况，因此能够迅速准确地找出故障与事故的原因。
此外，客户生产现场的设备负责人只要穿上穿戴式装置，即可接收本公司资深技术人员提供的远程支持。如此便利的在线支持可前所未有地提供故障发生的早期对策，从而够削减因故障及事故而造成的工时与费用。

设备可自行发现故障征兆进行预见性维护，与构建在全球网络上的零件供应服务

零件供应服务则利用Web系统随时把握本公司及合作伙伴的全球供应商的库存情况，在短时间内为客户提供必要的零件。

所谓预知性保全即通过在半导体生产设备内安装振动仪等仪器，收集设备的状态数据，实现预见性维护。本公司利用作为半导体设备生产商多年积累的经验及专业技术对该数据进行分析。设备从分析结果中自行发现故障征兆，发出警报的同时以邮件的形式通知客户与本公司。该功能可在故障导致设备异常停止之前，锁定故障原因。